领先光学研制的"热翘曲量测设备"是国内唯一在半导体翘曲量测领域应用Shadow-Moire技术研发制造“热翘曲量测设备”的公司,该设备满足国际品牌Akromtrix-AXP的使用场景,且符合国内的生产工艺要求。所有配件全部国产化,功能全部实现国产化,对比竞品的温控模块,温度均匀性的性能全方面提升。

Shadow-Moire热翘曲量测设备

领先光学的代表性突破在于其热翘曲量测设备。该设备基于国际主流的”阴影摩尔条纹技术(Shadow Moire)“进行研发制造。
当前全球仅有两家企业能够应用此项技术研发制造相关设备:除美国的知名品牌外,便是中国的领先光学技术(江苏)有限公司。作为该领域国内唯一的突破者,领先光学成功在半导体翘曲量测领域实现了技术产品化,也标志着国内在此领域已步入行业领先行列。
领先光学的热翘曲量测设备在突破核心技术的同时,紧密围绕全球先进工艺场景进行深度优化和迭代,在测量精度与产线工艺适配性上实现了同步突破。其特点在于:
全面国产化:实现了所有配件的国产化与全部功能的自主化,保障了供应链安全。
性能优化:对比国际竟品,其温控模块在温度均匀性这一关键性能上实现了全方面提升。
可靠验证:设备历经三个周期的迭代更新,其稳定性、可靠性、安全性、易维护性均已得到充分验证,具备工业化应用的成熟度。
经过三年发展,领先光学热翘曲量测设备已针对不同行业形成成熟解决方案:
电子行业
采用红外辐射加热,最高温度300°C,同样具备百纳米级精度,符合国际主流标准,支持实时翘曲变化分析。
半导体行业
兼容市场主流尺寸,测试精度达百纳米级,采用被JEDEC、JEITA等国际标准推荐的测试方法,全视场单次成像,测量高效便捷。
线路板行业
支持常温~300°C宽温范围实时测量,翘曲有效量程达3mm,精度为百纳米级,全视场4秒内即可一次性完成多区域测量,便于集成在线自动化方案。