阴影摩尔条纹技术(Shadow-Moire)技术被广泛应用于先进半导体封测、PCB载板等行业,得益于其历经三十年行业普遍验证的应用优势,能实现高效、精确地测量微观尺度下的翘曲和形变。领先光学技术(江苏)有限公司是国内首家基于Shadow-Moire技术研制热翘曲量测设备的企业,作为热变形翘曲分析技术先锋,成功在半导体翘曲量测领域实现了该技术的产品化。

一、使用Shadow-Moire技术的必要性

PCB板、封装载板、封装工艺过程中,由于各种原因,器件表面发生弯曲和翘曲,超出工艺设计标准,从而影响焊接、键合、热压合等后续工艺的不良。

摩尔条纹的优势是对样品摆放水平基准要求不高,通过软件算法来自动补偿到绝对水平。
二、Shadow-Moire技术的核心优势
1、权威可靠,公信力高
该项技术发源于IBM,拥有超30年行业应用历史,是半导体与电子制造领域广泛采用的标准方法,测量数据具备高度权威性。
2、大视野全景测量
支持单次最大800×800mm视野,可同步测量大面积工件不同区域的翘曲,实现高效的全场分析。
3、快速瞬态捕捉
最快1秒完成测量,能精准捕捉回流焊等过程中的瞬时形变,为工艺优化提供实时数据。
4、环境适应性强,稳定易用
抗环境干扰能力强,精度稳定,且用户校准简便,保障了长期可靠的重复性测量。

三、Shadow-Moire技术的应用场景
1、半导体封测:
晶圆级封装:测量薄化晶圆在加工中的翘曲。
回流焊模拟:评估芯片封装在高温焊接过程中的形变行为。
3D IC堆叠:控制多层结构在热压键合中的平整度。
2、PCB载板:
基板热变形分析:检测载板在热应力下的翘曲,避免焊接空洞或断裂。
材料评估:比较不同基板材料的热机械性能。


Shadow-Moire技术集行业标准信赖、高效全场分析、快速动态监测与稳健操作体验于一体。领先光学技术(江苏)有限公司基于该项技术研制出热翘曲量测设备,作为国内率先实现该技术设备化的企业,为客户提供了值得信赖的精密测量解决方案,助力高端制造实现更优的质量控制与工艺突破。